依頼試験利用料金表

令和6年2月27日現在
依頼加工 > 依頼加工 > 真空・表面加工・設計
(消費税10%を含みます)
番号 試験名 試験条件 金額 備考
O303 スパッタリング
  • 1 件
19,200円
O304 イオンビーム又はニュートラルビーム
  • 1 件
34,600円
O305 イオンビームエッチング
  • 1 件
25,900円
O310 半導体熱処理(酸化、拡散、CVD)
  • 1 件
  • 2 時間
49,500円
  • 1 時間 増すごとに16,500 円加算
O312 高密度プラズマCVD
  • 1 件
34,600円
O315 プラズマアシスト蒸着
  • 1 件
19,000円
O318 マスク設計
  • 1 件
  • 1 時間
5,000円
O319 スパッタリング(半導体デバイス製造用)
  • 1 件
22,400円
O320 集束イオンビーム(FIB)加工(STEM/TEM観察用試料作製:標準仕様)
  • 1 件
  • 1 条件
140,700円
  • 1 条件 増すごとに23,300 円加算
O321 集束イオンビーム(FIB)加工(断面試料作製:標準仕様)
  • 1 件
  • 1 条件
50,100円
  • 1 条件 増すごとに15,600 円加算
O322 高精度フォトリソグラフ
  • 1 件
  • 2 時間
33,300円
  • 1 時間 増すごとに15,000 円加算
O323 真空蒸着
  • 1 試料
15,000円
O324 高速シリコンディープエッチング
  • 1 件
30,900円
O325 マグネトロンスパッタリング
  • 1 件
25,200円
O326 マグネトロンスパッタリングの追加延長
  • 1 件
8,500円
O327 フォトマスク作製
  • 1 枚
  • 2 時間
27,400円
  • 1 時間 増すごとに13,300 円加算
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