| 番号 | 装置名 | 使用単位 | 金額 | 備考 |
|---|---|---|---|---|
| A3032 | スパッタ装置 | 半日 | 13,900円 | |
| A3114 | エアロプラズマ溶射装置 | 1時間 | 9,900円 | |
| A3116 | 溶射ロボット・防音室 | 1時間 | 5,800円 | |
| A3147 | UBMスパッタ装置 | 1日 | 52,800円 | |
| A3152 | 高密度プラズマCVD装置 | 半日 | 14,200円 | |
| A8303 | 多機能真空蒸着装置 | 半日 | 9,500円 | |
| A9239 | 真空蒸着装置 | 半日 | 6,000円 | |
| A9362 | マグネトロンスパッタ装置 | 1時間 | 9,900円 | |
| A9378 | イオンビームスパッタ装置 | 半日 | 13,000円 | |
| A9398 | 四重極型質量分析計 | 1時間 | 2,900円 | |
| E1005 | 多層膜スパッタ装置 | 半日 | 14,000円 | |
| E1006 | 電子ビーム蒸着装置 | 半日 | 6,000円 |